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4轴圆柱坐标型洁净机械手臂

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具体成交价以合同协议为准

公司名称北京锐洁机器人科技有限公司
品牌
型号
所在地北京市
厂商性质经销商
更新时间2018/10/26 13:45:02
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产品标签:

洁净机械手臂洁净机械手臂供应洁净机械手臂厂家北京洁净机械手臂

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公司介绍主营产品

北京锐洁机器人科技有限公司位于中国半导体行业中心地北京亦庄经济技术开发区，是由优秀的留学归国技术人员所创办的高科技技术型企业。
　　公司核心技术人员拥有在国内外半导体行业20年的实际从业经验，能够设计可用于半导体设备的各种自动化设备。公司当前的主力产品为小尺寸晶圆自动装卸载系统以及日本洁净机械手臂专业厂家JEL生产的各种洁净机械手臂等。
　　公司自主独立研发的小尺寸晶圆自动装卸载系统具有占地面积小、自动化程度高的特点，能够有效的提高产线效率，降低生产成本； JEL公司生产的各种洁净机械手臂具有洁净度高、性价比优秀、稳定性好的特点，能够满足中国客户需求，适合当前的中国市场。
　　作为日本JEL公司在中国地区的*合作伙伴，我公司和JEL公司将持续不断的为中国市场提供专业、高性价比的产品以及优质、快捷的服务。

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小尺寸晶圆自动装卸载系统以及日本洁净机械手臂专业厂家JEL生产的各种洁净机械手臂

产品简介在线询价

4轴圆柱坐标型洁净机械手臂适用于液晶面板生产设备内部，检测设备等的玻璃基板搬运
Z轴升降范围超过760 mm以上的部分为多段式，能够有效地降低搬运高度

4轴圆柱坐标型洁净机械手臂产品信息

4轴圆柱坐标型洁净机械手臂适用于液晶面板生产设备内部，检测设备等的玻璃基板搬运
Z轴升降范围超过760 mm以上的部分为多段式，能够有效地降低搬运高度

可用于G4.5尺寸玻璃基板的搬运，双手臂结构，玻璃基板搬运效率更高

机械手臂标准臂长：400 mm，500 mm
Z轴（升降轴）标准长度：400 mm，500 mm，600 mm，760 mm，900 mm（Z轴超过760 mm以上为多段式，实物和照片的外观不同）
可搬运重量：手臂第3关节处基准15 kgf以下(400 mm，500 mm)
双臂结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式
配备动作监视器
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
全轴采用值编码器规格的AC伺服电机
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运玻璃基板
基板固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式
手指材质：CFRP（碳纤维），铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
手指可以安装多种传感器（校准，有无，Mapping等）
可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供优的手指

4轴圆柱坐标型洁净机械手臂

应用设备实例

AOI设备；液晶工厂内生产线

规格

被搬运物*	730x920x1.1mm玻璃基板（具有代表性的标准尺寸）
	手臂	旋转	升降
可动范围* （手臂第3关节中心基准）	875 mm	330度	600 mm
搬运速度 (平均速度)*	1375 mm/1.8sec	180度/1.8sec	600 mm/1.7sec
精度*	8.20µm以下	0.0008度	2.4 µm
搬运高度*	271mm（法兰安装面到上手指的晶圆安装面的高度）
重复性精度	±0.2mm以内
洁净度	0.3µm/cf Class10（驱动结构内部独立排气的条件下）
厂务	电源：3相AC200V±10% 3kVA 真空：优于-73kPa