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SSCR3115N3轴圆柱坐标型洁净机械手臂

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  • 公司名称北京锐洁机器人科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地北京市
  • 厂商性质经销商
  • 更新时间2018/10/26 14:12:49
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北京锐洁机器人科技有限公司位于中国半导体行业中心地北京亦庄经济技术开发区,是由优秀的留学归国技术人员所创办的高科技技术型企业。
  公司核心技术人员拥有在国内外半导体行业20年的实际从业经验,能够设计可用于半导体设备的各种自动化设备。公司当前的主力产品为小尺寸晶圆自动装卸载系统以及日本洁净机械手臂专业厂家JEL生产的各种洁净机械手臂等。
  公司自主独立研发的小尺寸晶圆自动装卸载系统具有占地面积小、自动化程度高的特点,能够有效的提高产线效率,降低生产成本; JEL公司生产的各种洁净机械手臂具有洁净度高、性价比优秀、稳定性好的特点,能够满足中国客户需求,适合当前的中国市场。
  作为日本JEL公司在中国地区的*合作伙伴,我公司和JEL公司将持续不断的为中国市场提供专业、高性价比的产品以及优质、快捷的服务。

小尺寸晶圆自动装卸载系统以及日本洁净机械手臂专业厂家JEL生产的各种洁净机械手臂
SSCR3115N3轴圆柱坐标型洁净机械手臂适用于半导体生产设备内部,检测设备以及LED芯片生产设备等的小尺寸晶圆搬运,通过优化机械手臂的空间尺寸,有利于实现设备的小型化
SSCR3115N3轴圆柱坐标型洁净机械手臂 产品信息

SSCR3115N3轴圆柱坐标型洁净机械手臂适用于半导体生产设备内部,检测设备以及LED芯片生产设备等的小尺寸晶圆搬运,通过优化机械手臂的空间尺寸,有利于实现设备的小型化。安装有Z轴的小型机械手臂,可用于100 mm以下尺寸晶圆的搬运,通过采用双手指结构显著提高了晶圆搬运效率。

SSCR3115N3轴圆柱坐标型洁净机械手臂

  • 同SSCR2090S-PM兼容,连杆式手臂,可以定制没有Z轴模块的机械手臂
  • 可搬运重量:手臂第3关节处基准0.2kgf以下(只包含被搬运物)
  • 配备动作监视器
  • 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
  • 全轴使用2相步进电机
  • S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆
  • 晶圆固定方式:真空吸附式
  • 手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质
  • 可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供优的手指
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