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伯努利机械手指(非接触式)

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  • 公司名称北京锐洁机器人科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地北京市
  • 厂商性质经销商
  • 更新时间2018/10/26 14:21:01
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北京锐洁机器人科技有限公司位于中国半导体行业中心地北京亦庄经济技术开发区,是由优秀的留学归国技术人员所创办的高科技技术型企业。
  公司核心技术人员拥有在国内外半导体行业20年的实际从业经验,能够设计可用于半导体设备的各种自动化设备。公司当前的主力产品为小尺寸晶圆自动装卸载系统以及日本洁净机械手臂专业厂家JEL生产的各种洁净机械手臂等。
  公司自主独立研发的小尺寸晶圆自动装卸载系统具有占地面积小、自动化程度高的特点,能够有效的提高产线效率,降低生产成本; JEL公司生产的各种洁净机械手臂具有洁净度高、性价比优秀、稳定性好的特点,能够满足中国客户需求,适合当前的中国市场。
  作为日本JEL公司在中国地区的*合作伙伴,我公司和JEL公司将持续不断的为中国市场提供专业、高性价比的产品以及优质、快捷的服务。

小尺寸晶圆自动装卸载系统以及日本洁净机械手臂专业厂家JEL生产的各种洁净机械手臂
伯努利机械手指(非接触式)针对存在翘曲的晶圆,以及减薄晶圆设计的具有高性价比特点的伯努利原理机械手指
可以配套JEL所有类型的大气搬运机械手臂使用
伯努利机械手指(非接触式) 产品信息

伯努利机械手指(非接触式)

针对存在翘曲的晶圆,以及减薄晶圆设计的具有高性价比特点的伯努利原理机械手指
可以配套JEL所有类型的大气搬运机械手臂使用

  • 利用伯努利原理产生的气流压力差吸附晶圆
  • 通过夹持晶圆边缘的方式限制晶圆在传输过程中可能发生的位置偏移
  • 除去晶圆边缘和夹持卡爪之间的接触之外,晶圆表面不会和手指的其他部分发生接触
  • 不同尺寸的晶圆需要使用不同的机械手指
  • 相对于真空吸附方式的机械手指,伯努利原理机械手指的吸附力会分散在整个晶圆表面,更适合于减薄晶圆的传输
  • 由于机械手指不接触晶圆的正反面,所以能够满足不希望在传输过程中接触晶圆正反面的特殊用户需求

伯努利机械手指(非接触式)可用于6、8、12寸晶圆的非接触式End-Effector,非常适合减薄晶圆,广泛应用于半导体后道工序设备
通过使用晶圆样品进行实际的验证传输测试,可以按照客户的需要,针对不同尺寸,翘曲量,晶圆厚度的任意形状的晶圆进行机械手指的定制设计

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