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1200℃双管滑动式四通道混气CVD系统OTF-1200X-4-C4LV

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  • 公司名称沈阳科晶自动化设备有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地沈阳市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/2/25 10:31:33
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沈阳科晶自动化设备有限公司是由毕业于美国麻省理工学院的江晓平博士于2000年5月创建。与合肥科晶材料技术有限公司、深圳市科晶智达科技有限公司同属于科晶联盟。自SYJ-150低速金刚石切割机诞生以来,沈阳科晶便开始了以赶超国外同行、材料分析设备潮流为目标的发展历程。时至今日,已经拥有涵盖材料切割、研磨、抛光、涂膜、镀膜、混合、压轧、烧结、分析等领域以及相关耗材的上百种产品,可以满足晶体、陶瓷、玻璃、岩相、矿样、金属材料、耐火材料、复合材料、生物材料等制备分析的全套需要。  沈阳科晶立足国内市场实际情况,以提供实用的产品为己任。产品的质量、精度在向国外企业看齐的基础上,产品的价格定位却仅仅是其几分之一。的性价比不仅吸引了众多国内客户,而且令挑剔的外国客商也称赞不已,产品远销于印度、马来西亚、土耳其、波兰、突尼斯、澳大利亚等国家,并大量出口于美国。  沈阳科晶一直致力于高等院校、研究所、生产企业的科研服务,即产品定位于研究市场,主要面向广大高等院校、科研机构、实验室以及工厂的小规模生产。多年以来,已与全国众多高校、研究院所建立了良好的合作、服务关系。其中北京大学、清华大学、浙江大学、哈尔滨工业大学、东北大学等高校,金属研究所、上海硅酸盐研究所、中国科学地质与地球物理研究所等科研机构,中国航天工业集团公司、中国船舶重工集团公司、攀钢集团有限公司等企业都是长期合作的荣誉客户。  沈阳科晶为了更好地服务客户,专门设立了开放式专业实验室,配备了优秀的专业技术人员。在这里,不仅可以提供亲身的产品体验环境,而且还可得到专业人员的操作指导。开设以来,制作的样品达上千件,接待来访客户参观百余次,其中包括多次外国友人的来访。在此,沈阳科晶全体员工诚挚地欢迎您的到来,并希望您能提出宝贵的意见与建议。此外,沈阳科晶拥有优质、高效、专业的销售咨询、售后服务团队,能够为每一位客户提供采购建议与方案、完善的使用指导与售后服务。使每一位客户的需求得到满足是沈阳科晶每个员工不懈努力的目标。  沈阳科晶一路走过的历程,是为我国材料研究事业全力贡献的历程,是以实际行动将自己打造成国内材料分析设备品牌的历程,是与国外同行不断缩小差距的历程,是与广大客户相扶相持的成长历程。虽一路充满坎坷与荆棘,但坚持不懈的沈阳科晶人仍全力以赴的前行。秉承这份坚持,相信在不久的将来,沈阳科晶也将会成为国际市场上专业的、杰出的材料分析设备品牌,沈阳科晶的明天会更加灿烂辉煌。
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1200℃双管滑动式四通道混气CVD系统OTF-1200X-4-C4LV
1200℃双管滑动式四通道混气CVD系统OTF-1200X-4-C4LV 产品信息

产品简介:1200℃双管滑动式四通道混气CVD系统OTF-1200X-4-C4LV是专门为在金属箔表面生长薄膜而设计的,特别是应用在新一代能源——柔性金属箔电极方面的研究。

 

1200℃双管滑动式四通道混气CVD系统OTF-1200X-4-C4LV操作视频

 

产品型号

1200℃双管滑动式四通道混气CVD系统OTF-1200X-4-C4LV

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好

3、气:设备腔室内需充注气体,需自备气瓶气源

4、落地式,占地面积:尺寸1600mm×600mm×700mm

5、通风装置:需要

主要特点

1采用高纯氧化铝保温材料,保证了的温度均匀性。

2内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层,可以提高反射率和保护炉膛洁净度

3PID控制器 ,可以设置30段升降温程序。

4金属箔缠绕在内管的外表面上发CVD反应

5采用双管真空密封法兰,允许反应气体通过两管之间(10mm间隙)。

6却气体直接通入内管。

7有带KF25快接和波纹管的高速机械泵。

8炉底部装有滑轨,炉体可从一端滑向另一端,从而实现快速升温和降温。为了获得较快的加热速度,可以先将炉体预热,然后滑至放置样品处;为了获得较快的冷却速度,可将炉体滑至另一端,同时将冷气通入样品所在处

9密封法兰系统采用不锈钢制作。

10已通CE认证。

技术参数

管式炉

1电源:单相AC 208V-240V   50Hz/60Hz  2.5KW 20A保险丝)

2、石英管:外管外径Ø100mm内径Ø96mm,长1400mm

内管外径Ø80mm内径Ø75mm,长1400mm

3、加热元件:掺钼铁铬铝合金电阻丝(表面涂有氧化锆)

4、加热区域:440mm

5、恒温区域:120mm(±1℃在400-1100℃)

6工作温度:1100连续工作1000

7、升降温速率:20/min

8、控温精度:±1

9、真空度:10-3torr(机械泵),10-5torr(分子泵)

质量流量混气系统

1、质子流量计:4路精密质子流量计,数字显示,气体流量自动控制

MFC1范围0-100sccmMFC2范围0-200sccmMFC3范围0-200sccmMFC1范围0-500sccm

2、流量精度:0.2%

3、气路:4路(每个气路都有一个独立的不锈钢针阀控制)

4进出气口:1/4卡套

5、混气罐:1

产品规格

尺寸:管式炉550mm×380mm×520mm,移动架600mm×600mm×597mm

重量:135kg

可选配件

1、分子泵

2、双温区管式炉

3、铜箔(生长石墨烯150mm×150mm×25µm


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