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4路质子混气管式PECVD系统

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  • 公司名称沈阳科晶自动化设备有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地沈阳市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/2/25 10:33:27
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沈阳科晶自动化设备有限公司是由毕业于美国麻省理工学院的江晓平博士于2000年5月创建。与合肥科晶材料技术有限公司、深圳市科晶智达科技有限公司同属于科晶联盟。自SYJ-150低速金刚石切割机诞生以来,沈阳科晶便开始了以赶超国外同行、材料分析设备潮流为目标的发展历程。时至今日,已经拥有涵盖材料切割、研磨、抛光、涂膜、镀膜、混合、压轧、烧结、分析等领域以及相关耗材的上百种产品,可以满足晶体、陶瓷、玻璃、岩相、矿样、金属材料、耐火材料、复合材料、生物材料等制备分析的全套需要。  沈阳科晶立足国内市场实际情况,以提供实用的产品为己任。产品的质量、精度在向国外企业看齐的基础上,产品的价格定位却仅仅是其几分之一。的性价比不仅吸引了众多国内客户,而且令挑剔的外国客商也称赞不已,产品远销于印度、马来西亚、土耳其、波兰、突尼斯、澳大利亚等国家,并大量出口于美国。  沈阳科晶一直致力于高等院校、研究所、生产企业的科研服务,即产品定位于研究市场,主要面向广大高等院校、科研机构、实验室以及工厂的小规模生产。多年以来,已与全国众多高校、研究院所建立了良好的合作、服务关系。其中北京大学、清华大学、浙江大学、哈尔滨工业大学、东北大学等高校,金属研究所、上海硅酸盐研究所、中国科学地质与地球物理研究所等科研机构,中国航天工业集团公司、中国船舶重工集团公司、攀钢集团有限公司等企业都是长期合作的荣誉客户。  沈阳科晶为了更好地服务客户,专门设立了开放式专业实验室,配备了优秀的专业技术人员。在这里,不仅可以提供亲身的产品体验环境,而且还可得到专业人员的操作指导。开设以来,制作的样品达上千件,接待来访客户参观百余次,其中包括多次外国友人的来访。在此,沈阳科晶全体员工诚挚地欢迎您的到来,并希望您能提出宝贵的意见与建议。此外,沈阳科晶拥有优质、高效、专业的销售咨询、售后服务团队,能够为每一位客户提供采购建议与方案、完善的使用指导与售后服务。使每一位客户的需求得到满足是沈阳科晶每个员工不懈努力的目标。  沈阳科晶一路走过的历程,是为我国材料研究事业全力贡献的历程,是以实际行动将自己打造成国内材料分析设备品牌的历程,是与国外同行不断缩小差距的历程,是与广大客户相扶相持的成长历程。虽一路充满坎坷与荆棘,但坚持不懈的沈阳科晶人仍全力以赴的前行。秉承这份坚持,相信在不久的将来,沈阳科晶也将会成为国际市场上专业的、杰出的材料分析设备品牌,沈阳科晶的明天会更加灿烂辉煌。
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4路质子混气管式PECVD系统
4路质子混气管式PECVD系统 产品信息

产品简介:4路质子混气管式PECVD系统为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,环境温度在100-300℃,但反应气体在辉光放电等离子体中能受激分解、离解和离化,从而大大提高了反应物的活性,这些具有反应活性的中性物质很容易被吸附到较次温度的基本表面上,发生非平衡的化学反应沉积生成薄膜,因此这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)。

 

4路质子混气管式PECVD系统

 

产品型号

4路质子混气管式PECVD系统

安装条件

 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地

3、气:设备腔室内需充注气体,需自备气瓶气源

4、工作台:尺寸1600mm×600mm×700mm,承重150kg以上

5、通风装置:需要

主要特点

1内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命

2、辉光放电等离子体中电子密度可达109cm3-1012cm3

3电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍。

4、配有高精度数字显示质量流量计,可准确地控制气体流量。

5、一个气体混气罐的底部安装了液体释放阀。

6、不锈钢针阀安装在左侧部分,可手动控制混合气体的输入。

7、已通过CE认证。

技术参数

管式炉

1、电源:AC220V  4KW

2、炉管:Ø50mmØ60mmØ80mm都可用

3、温度控制器:30段高精度数字可编程温度控制器

4、加热区:440mm

5、恒温区:150mm

等离子射频电源

1、输入功率:AC220V  1KW

2输出功率:50W-500W可调,±1%

3RF频率:13.56MHz

4、噪声:≤55DB

5、冷却:风冷

真空泵和质量流量计

1、真空度:10-3torr

2、波纹管:KF25系列

3、质量流量计:0-200,误差0.02%,进气口采用国际标准双卡头

产品规格

尺寸:管式炉550mm×380mm×520mm,供气及真空系统600mm×600mm×1250mm

重量:120kg

可选配件

防腐型数字式真空显示计

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