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单室等离子增强化学气相沉积(PECVD)

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  • 公司名称沈阳科晶自动化设备有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地沈阳市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/2/26 14:10:20
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沈阳科晶自动化设备有限公司是由毕业于美国麻省理工学院的江晓平博士于2000年5月创建。与合肥科晶材料技术有限公司、深圳市科晶智达科技有限公司同属于科晶联盟。自SYJ-150低速金刚石切割机诞生以来,沈阳科晶便开始了以赶超国外同行、材料分析设备潮流为目标的发展历程。时至今日,已经拥有涵盖材料切割、研磨、抛光、涂膜、镀膜、混合、压轧、烧结、分析等领域以及相关耗材的上百种产品,可以满足晶体、陶瓷、玻璃、岩相、矿样、金属材料、耐火材料、复合材料、生物材料等制备分析的全套需要。  沈阳科晶立足国内市场实际情况,以提供实用的产品为己任。产品的质量、精度在向国外企业看齐的基础上,产品的价格定位却仅仅是其几分之一。的性价比不仅吸引了众多国内客户,而且令挑剔的外国客商也称赞不已,产品远销于印度、马来西亚、土耳其、波兰、突尼斯、澳大利亚等国家,并大量出口于美国。  沈阳科晶一直致力于高等院校、研究所、生产企业的科研服务,即产品定位于研究市场,主要面向广大高等院校、科研机构、实验室以及工厂的小规模生产。多年以来,已与全国众多高校、研究院所建立了良好的合作、服务关系。其中北京大学、清华大学、浙江大学、哈尔滨工业大学、东北大学等高校,金属研究所、上海硅酸盐研究所、中国科学地质与地球物理研究所等科研机构,中国航天工业集团公司、中国船舶重工集团公司、攀钢集团有限公司等企业都是长期合作的荣誉客户。  沈阳科晶为了更好地服务客户,专门设立了开放式专业实验室,配备了优秀的专业技术人员。在这里,不仅可以提供亲身的产品体验环境,而且还可得到专业人员的操作指导。开设以来,制作的样品达上千件,接待来访客户参观百余次,其中包括多次外国友人的来访。在此,沈阳科晶全体员工诚挚地欢迎您的到来,并希望您能提出宝贵的意见与建议。此外,沈阳科晶拥有优质、高效、专业的销售咨询、售后服务团队,能够为每一位客户提供采购建议与方案、完善的使用指导与售后服务。使每一位客户的需求得到满足是沈阳科晶每个员工不懈努力的目标。  沈阳科晶一路走过的历程,是为我国材料研究事业全力贡献的历程,是以实际行动将自己打造成国内材料分析设备品牌的历程,是与国外同行不断缩小差距的历程,是与广大客户相扶相持的成长历程。虽一路充满坎坷与荆棘,但坚持不懈的沈阳科晶人仍全力以赴的前行。秉承这份坚持,相信在不久的将来,沈阳科晶也将会成为国际市场上专业的、杰出的材料分析设备品牌,沈阳科晶的明天会更加灿烂辉煌。
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单室等离子增强化学气相沉积(PECVD)
单室等离子增强化学气相沉积(PECVD) 产品信息

产品简介单室等离子增强化学气相沉积(PECVD)是一种用等离子体激活反应气体,促进在基体表面或近表面空间进行化学反应,生成固态膜的技术。等离子体化学气相沉积技术的基本原理是在高频或直流电场作用下,源气体电离形成等离子体,利用低温等离子体作为能量源,通入适量的反应气体,利用等离子体放电,使反应气体激活并实现化学气相沉积的技术。该系统为单室等离子增强化学气相沉积(PECVD)工艺研发设备,用于生长纳米线或用CVD,方法来制作各种薄膜是一款新的探索工具。

 

产品名称

单室等离子增强化学气相沉积(PECVD)

安装条件

1、环境温度10℃~35℃

2、相对湿度不大于75%

3、供电电源220V、单、50±0.5 Hz

4、设备功率:小于4KW   

5、供水水压0.2MPa~0.4MPa,水温15℃~25℃

6、设备周围环境整洁,空气清洁,不应有可引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属导电的尘埃或气体存在。

技术参数

1、系统采用单室筒式结构,手动前开门;
2、真空室组件及配备零部件全部采用优质不锈钢材料制造(304),氩弧焊接,表面采用喷玻璃丸+电化学抛光钝化处理配有可视观察窗口,并带挡板,真空室尺寸为Φ300mm×300mm;

3极限真空度:8.0x10-5 Pa (经烘烤除气后,采用600L/S分子泵抽气,前级采用4L/S);系统真空检漏漏率:≤5.0x10-7Pa.l/S; 系统从大气开始抽气到8.0x10-4 Pa,40分钟可达到; 停泵关机12小时后真空度:≤5 Pa;
4采用样品在下,喷淋头在上的电容式耦合方式进气;
5样品加热温度:500℃,温控精度:±1°C,采用温控表进行控温;
6喷淋头尺寸:Φ90mm,喷淋头与样品之间电极间距10-65mm在线连续可调(可根据工艺调整),并带有标尺指数显示;
7.沉积工作真空:13.3-133Pa(可根据工艺调整)
8、射频电源:频率 13.56MHz,功率300W全自动匹配;
9、气体种类(用户自备)标准配置为2路100sccm质量控制器,用户可根据工艺更改气路配置;

10、气体过滤设备用户自备;

11、系统尾气处理系统(用户自备)。

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