真空等离子清洗机

半导体封装、3C 电子、线路板行业、生物医疗、新能源、国防航空。

1.   AL6061 材质真空腔体：级别密封，避免气体泄露，实现高效的真空度，为等离子体创造的反应条件;

2.   采用高质量等离子射频电源：13.56Mhz,确保高能量，高密度，均匀等离子体产生，确保出众的表面处理效果;

3.   真空系统： 双级旋片真空泵，真空专用电磁角阀、充气阀、KF40 不锈钢真空波纹管；耐高温、抗氧化、无排放污染，泵具有可自行缓解温度过高的散热体系，无需水冷;

4.   高精度气体流量监测系统：三路工艺气体配置(氩气、氧气、氮气），双路气流控制，比例可调，采用高精度电子质量流量计(MFC)、气体管路及阀件;

5.   电极系统，多层电极隔板设计：结构对称损耗小，该设计对等离子激发空间均匀 性大大改善，在同一平面上等离子清洗的速率更加一致，控制电力参数由系统结 构设计获得，能很好的控制电极的温度均一性，使电极对等离子的可控性大大提高，同时使电极间空间利用率达到;

6.   自主研发等离子体控制系统: 可根据腔体环境精准控制等离子体发生时间和反应强度，可进行多步工艺流程处理，采用品牌电器元件, 7”真彩触摸屏，可编程控制器，可在线设定、修改、监控真空压力、处理时间、气体流量、等离子功率等工艺参数，采用配方式参数系统，便捷切换不同工艺流程，并具有故障报警、工艺存储、密码等级管理等多种功能;

7.   强大的全面安全防护系统：温度安全防护功能，过载防护功能，短路断路报警防护功能，非法操作提示、清洁结束提示，各种误操作保护功能等;

8.   处理全程无污染 ：等离子清洗机本身是很环保的设备，无产生任何污染，处理过程也无产生任何污染。