advantages
产品优势

安全稳定可靠
速度快、稳定性好可挂载
可挂载到标准EFFM接口上多兼容
兼容6寸和8寸晶圆和的开启和关闭自动识别
自动识别盒内晶圆尺寸以及盒内各槽晶圆状态防夹手功能
内置防夹手功能
Application areas
产品应用领域
晶圆装载与检测
parameter
产品参数
-
动作对象
300mm 25 Wafer FOUP/ 200mm 25 Wafer adaptor
-
外形尺寸mm H x W x D
1381*470*570
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本体重量
60kg
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重复位置精度
±0.1 mm
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动作时间
开盒带Mapping 14Sec
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动作时间
关盒不Mapping 10Sec
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洁净等级
CLASS 100
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气源
真空:-40~-80KPa 压缩空气:0.5~0.6Mpa
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电源
DC 24V 3AMax
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可靠性
MCBF 500,000 times
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通讯接口
RS232
-
震动
0.7g