advantages
产品优势

钢带结构
高洁净度、耐高温、耐腐蚀磁流体密封技术
高真空度、低漏率抛光不锈钢手臂、亮面不锈钢护罩
表面美观、高洁净度精简传动
精简传动结构,高效,长寿命软件控制系统
效果优良的碰撞保护功能、动态纠偏功能质量可靠
高品质零部件,精密装配,严格检验,确保高精度、高寿命模块化
方便维修维护
Application areas
产品应用领域
晶圆传输工作
托盘传输工作
parameter
产品参数
-
有效载荷
≤12kg
-
工作范围
≤1500
-
控制轴数
3
-
重复定位精度
±0.2
-
安装方式
上法兰安装