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TSS-3000 EFEM

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  • 公司名称沈阳新松机器人自动化股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地沈阳市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2025/1/17 8:13:23
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新松机器人自动化股份有限公司(以下简称“新松”)成立于2000年,隶属*,是一家以机器人技术为核心的高科技上市公司。作为中国机器人企业及国家机器人产业化基地,新松拥有完整的机器人产品线及工业4.0整体解决方案。以创新、开放和共赢的思维行业进步,以的产品和服务为客户持续创造价值。新松本部位于沈阳,在上海设有总部,在沈阳、上海、杭州、青岛、天津、无锡建有产业园区。同时,新松积极布局市场,在韩国、新加坡、泰国、香港等地设立多家控股子公司,现拥有4000余人的研发创新团队,形成以自主核心技术、核心零部件、核心产品及行业系统解决方案为一体的全产业价值链。作为中国机器人产业头雁,新松已创造了百余项*。成功研制了具有自主知识产权的工业机器人、协作机器人、移动机器人、特种机器人、服务机器人五大系列百余种产品,面向智能工厂、智能装备、智能物流、半导体装备、智能交通,形成产业方向,致力于打造数字化物联新模式。产品累计出口30多个国家和地区,为3000余家企业提供产业升级服务。新松紧抓新一轮科技革命和产业变革契机,发挥人工智能技术的赋能效应,以工业互联网、大数据、云计算、5G网络等新一代*科技推动机器人产业平台化发展,打造集创新链、产业链、金融链、人才链于一体的生态体系。聚焦核心技术,共享智能时代。智慧新松,未来!
EFEM是一个晶圆前端传输设备,是一个与SEMI标准兼容的界面系统,可以手动或者配合MR或OHT的承载水平传输晶圆。该系统提供单线接口供工厂控制,充裕的传输间距与工厂交互和简单的方式供人工服务。占地面积小,采用带外部轴的双臂机械手,通过双轴复合运动实现取放片,极大的提高了传片效率的同时而又降低了产品维护成本。内部全新的气体导流结构,保证内部空间洁净度能够满足ISO Class 1级别,保证晶圆传输......
TSS-3000 EFEM 产品信息

advantages

产品优势
  • 符合SEMI标准
    整机参照SEMI进行设计,符合半导体行业标准
  • 自主研发
    大气手、aligner、SMIF、buffer等核心部件均自主研发,稳定性高
  • 尺寸多样性
    采用行业标准尺寸,内部空间布局合理,结构紧凑性强,可根据用户需求定制
  • 传输效率高
    多款大气手、aligner等部件可供选配,可配置外部轴,大气手可实现多种取放功能,传输效率高
  • 标准化程度高
    内部零部件高度标准化模块化,互换性高
  • 兼容性强
    可根据用户的实际需求进行非标定制


Application areas

产品应用领域
  • 半导体晶圆传输

parameter

产品参数
  • 尺寸

    2100*750*2500mm

  • 重量

    ≤1100kg

  • 洁净等级

    class 1

  • wafer放置位置精度

    ±0.1mm

  • wafer放置角度精度

    ±0.2°

  • WPH

    ≥150

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