advantages
产品优势

符合SEMI标准
整机参照SEMI进行设计,符合半导体行业标准自主研发
大气手、aligner、SMIF、buffer等核心部件均自主研发,稳定性高尺寸多样性
采用行业标准尺寸,内部空间布局合理,结构紧凑性强,可根据用户需求定制传输效率高
多款大气手、aligner等部件可供选配,可配置外部轴,大气手可实现多种取放功能,传输效率高标准化程度高
内部零部件高度标准化模块化,互换性高兼容性强
可根据用户的实际需求进行非标定制
Application areas
产品应用领域
半导体晶圆传输
parameter
产品参数
-
尺寸
2100*750*2500mm
-
重量
≤1100kg
-
洁净等级
class 1
-
wafer放置位置精度
±0.1mm
-
wafer放置角度精度
±0.2°
-
WPH
≥150