advantages
产品优势

性能安全稳定可靠
运行平稳性好、高真空度高品质
具有高刚性、高速度、高精度等优势性价比
适用于洁净领域,轻量级设计使其与产线融于一体,作业空间利用率高高洁净度
优选材料、加工以及表面处理控制技术
动作灵活轻巧快捷,操作持久耐用高优良特性
满足各类柔性化集成和生产等优良特性于一体
Application areas
产品应用领域
半导体晶圆搬运
parameter
产品参数
-
晶圆尺寸
φ200mm
-
负载重量
≤0.5Kg
-
R轴重复定位精度
±0.05mm
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θ轴重复定位精度
±0.006°
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R轴行程
≤530.5mm
-
T轴行程
360°
-
真空度
<1×10-7 Torr
-
漏率
<1×10-9 std.cc/sec He
-
整机重量
25kg