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真空机械手 SM11

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  • 公司名称沈阳新松机器人自动化股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地沈阳市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2025/1/17 8:59:35
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新松机器人自动化股份有限公司(以下简称“新松”)成立于2000年,隶属*,是一家以机器人技术为核心的高科技上市公司。作为中国机器人企业及国家机器人产业化基地,新松拥有完整的机器人产品线及工业4.0整体解决方案。以创新、开放和共赢的思维行业进步,以的产品和服务为客户持续创造价值。新松本部位于沈阳,在上海设有总部,在沈阳、上海、杭州、青岛、天津、无锡建有产业园区。同时,新松积极布局市场,在韩国、新加坡、泰国、香港等地设立多家控股子公司,现拥有4000余人的研发创新团队,形成以自主核心技术、核心零部件、核心产品及行业系统解决方案为一体的全产业价值链。作为中国机器人产业头雁,新松已创造了百余项*。成功研制了具有自主知识产权的工业机器人、协作机器人、移动机器人、特种机器人、服务机器人五大系列百余种产品,面向智能工厂、智能装备、智能物流、半导体装备、智能交通,形成产业方向,致力于打造数字化物联新模式。产品累计出口30多个国家和地区,为3000余家企业提供产业升级服务。新松紧抓新一轮科技革命和产业变革契机,发挥人工智能技术的赋能效应,以工业互联网、大数据、云计算、5G网络等新一代*科技推动机器人产业平台化发展,打造集创新链、产业链、金融链、人才链于一体的生态体系。聚焦核心技术,共享智能时代。智慧新松,未来!
直驱电机结构具有更高的真空特性,内部结构没有齿轮,皮带等部件,系统运行的平稳性更好,可靠性更高。全新的IO模块,具有更多的输出输入引脚,用户可以根据需求配置成互锁,传感器检测等功能。输入信号支硬件中断功能,方便客户配置AWC等位置锁存功能应用。带有安全区配置功能和灵敏的碰撞保护功能,减少用户误操作导致的各种损失。带有大屏幕机器人示教器,方便调试人员使用,并支持热插拔功能。可以根据客户应用的特殊要求......
真空机械手 SM11 产品信息

advantages

产品优势
  • 性能安全稳定可靠
    运行平稳性好、高真空度
  • 高品质
    具有高刚性、高速度、高精度等优势
  • 性价比
    适用于洁净领域,轻量级设计使其与产线融于一体,作业空间利用率高
  • 高洁净度
    优选材料、加工以及表面处理
  • 控制技术
    动作灵活轻巧快捷,操作持久耐用
  • 高优良特性
    满足各类柔性化集成和生产等优良特性于一体

Application areas

产品应用领域
  • 半导体晶圆搬运

parameter

产品参数
  • 晶圆尺寸

    φ200mm

  • 负载重量

    ≤0.5Kg

  • R轴重复定位精度

    ±0.05mm

  • θ轴重复定位精度

    ±0.006°

  • R轴行程

    ≤530.5mm

  • T轴行程

    360°

  • 真空度

    <1×10-7 Torr

  • 漏率

    <1×10-9 std.cc/sec He

  • 整机重量

    25kg

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