advantages
产品优势

优势明显
速度快、稳定性好可挂载
可挂载到Semi标准EFFM机械接口上多兼容
兼容6寸和8寸晶圆和的开启和关闭自动识别
自动识别盒内晶圆尺寸以及盒内各槽晶圆状态内置多传感器
内置晶圆滑出和卡塞错位传感器
Application areas
产品应用领域
晶圆装载与检测
parameter
产品参数
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动作对象
200mm Carrier
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移载重量
0.8kg (需要进行5kg配重提升三次测试)
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重复位置精度
±0.1mm
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片盒检查
RFID读取、微型光电传感器、对射式光电传感器
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材质
耐酸铝+不锈钢
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外形尺寸
815H*365W*425D(mm)
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本体重量
65kg
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工作台
带有片盒载荷传感器
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可靠性
MTBF:17000h
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开盒时间
12.5s
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关盒时间
14s