advantages
产品优势

手臂结构
增强手臂刚性,抑制振动改进本体制造工艺
降低成本,竞争力强个性化设计
用户可定制手指及接口高洁净度
优选材料、加工以及表面处理肘部、腕部灵活
任意姿势取放晶圆,节省空间,适应性强多重安全保护
软件控制系统,防止碰撞质量可靠
高品质零部件,精密装配,严格检验,高寿命
Application areas
产品应用领域
硅晶圆搬运
LED蓝宝石基片搬运
parameter
产品参数
-
结构形式
柱坐标型/SCARA型
-
负载-名称
晶圆
-
负载-直径
φ200mm/φ300mm
-
负载-重量
≤0.5kg
-
自由度数
3
-
回转直径
505mm
-
运动范围-升降轴(Z轴)
960mm
-
运动范围-回转轴(T轴)
340°
-
运动范围-伸展轴(R轴)
645mm
-
速度-升降轴(Z轴)
400mm/s
-
速度-回转轴(T轴)
180°/s
-
速度-伸展轴(R轴)
<0.8s
-
重复定位精度-升降轴(Z轴)
±0.1mm (3σ)
-
重复定位精度-回转轴(T轴)
±0.01°(3σ)
-
重复定位精度-伸展轴(R轴)
±0.1mm (3σ)
-
洁净度
ISO CLASS 4
-
主机重量
90kg
-
电源
VAC 220V±10
-
行程
618mm