行业产品

  • 行业产品

德扬光电有限公司


当前位置:德扬光电有限公司>>光罩对准曝光机>>桌上型曝光机

桌上型曝光机

返回列表页
参  考  价面议
具体成交价以合同协议为准

产品型号

品       牌

厂商性质其他

所  在  地

联系方式:查看联系方式

更新时间:2023-06-21 11:56:04浏览次数:169次

联系我时,请告知来自 智能制造网

经营模式:其他

商铺产品:6条

所在地区:

产品简介

產品簡介: 保有全手动之完整功能, 取消手动机下方之机架以及后方之箱体,做最简化之设计, 适合预算不多之客户 。

详细介绍

桌上型曝光机

适合研究单位使用
產品簡介:

保有全手动之完整功能, 取消手动机下方之机架以及后方之箱体,做最简化之设计, 适合预算不多之客户 。

紫外光源功率 : 350W or 500W 。

曝光光源尺寸 : 4″, 5″ ,6″ , 8″。

波长 : NUV(350W时365nm强度约16~20mW/cm2) 。

均匀度 : +-5% 。

电源供应器 : 定功率控制 。

快门控制计时器 : 0.1~999.9秒。

采用可变倍率镜头影像系统,总影像倍率100X-600X, 小型高解析黑白CCD摄影机,

19"LCD荧幕 LED同轴光源打光,影像解析度可达 1um 镜头位置调整,可前后左右上下微调约 20mm ,

可选择使用一组或两组影像系统, 选配快速扫描台,可快速移动镜头,前后左右移动约 10cm 。

光罩真空吸盘 : 4",5″, 6" 下吸式 。

晶圆真空吸盘 : 破片,2",3″ ,4″ 或 5" ,具光罩与晶圆平行面校正功能,

晶圆真空吸盘可前后左右调整约 10mm,调整灵敏度 1um 旋转调整约 5度,

调整灵敏度 0.001度 Z轴可调整约 3mm, 调整灵敏度 1um, Z轴具千分表可显示光罩与晶圆间距, Z轴可设定对准与曝光两种间隙,

可调整接触真空吸附力大小, 曝光模式有 Vacuum contact,Soft contact, Proximity,

人工置放晶片与调整晶片位置,取放晶圆时光罩吸盘以手开启。

采全手动拨钮操作系统以手动控制面板操作。

操作项目包括光罩与晶圆之更换,光罩与晶圆间隙之切换, 光罩与晶圆平行面校正,真空接触之切换与真空值调整Z轴的归零,

镜头与曝光源左右交替移至对准台上方,并有安全互锁功能。

桌上型大底板机座,具调整脚。

采真空接触曝光图形解析可达 1um, 近接曝光依光罩与晶圆间隙可达 3~5um。

其他推荐产品更多>>

感兴趣的产品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN

智能制造网 设计制作,未经允许翻录必究 .      Copyright(C) 2021 https://www.gkzhan.com,All rights reserved.

以上信息由企业自行提供,信息内容的真实性、准确性和合法性由相关企业负责,智能制造网对此不承担任何保证责任。 温馨提示:为规避购买风险,建议您在购买产品前务必确认供应商资质及产品质量。

会员登录

×

请输入账号

请输入密码

=

请输验证码

收藏该商铺

登录 后再收藏

提示

您的留言已提交成功!我们将在第一时间回复您~